Июнь 2007
|
Операция |
Номер варианта |
|
|
1 |
2 |
|
|
Механическая зачистка фольги |
+ |
|
|
Химическое обезжиривание |
+ |
+ |
|
Пронывка в горячей и холодной воде |
+ |
|
|
Подтравливаиие |
+ |
— |
|
Промывка в холодной воде |
— |
|
|
Активирование |
+ |
|
|
. Промывка |
+ |
+ |
|
Промывка в холодной воде |
+ |
+ |
|
Электролитическое полирование |
— |
|
|
Обработка в растворе «ускоритель» |
+ |
— |
|
Промывка в холодной воде |
+ |
+ |
Ниже даны основные характеристики
Химическое обезжиривание осуществляется в растворе следующего состава (г/г): трииатрийфосфат — 30—35, сода кальцинированная — 30—35, 3—5.
В том случае, когда раствор используется в установках струйной обработки, в него вводится эмульсия КЭ-10-21 (1—2 г/л). Температура раствора 40—60 °С, продолжительность обработки 2—5 мин.
Подтравливаиие медной растворе, содержащем 200—250 г/л надсериокислого аммония и 5—7 г/л серной кислоты.
Промывки в холодной осуществляются в ваннах с проточной водой. С целью значительного снижения расхода воды рекомендуется ванны каскадного типа.
Электролитическое полирование заключается в анодной обработке заготовок, в результате которой растворяются
Электролитом служит раствор ортофосфориой кислоты (1140— 1170 г/л) с добавлением 70—100 мл/л бутилового спирта (бутанол)
Раствор готовится следующим бутанолу добавляется равное количество воды, в полученную смесь медленно при постоянном перемешивании добавляется
Катодами листы из меди или коррозионно-стойкой стали, помещенные в чехлы из хлорииовой ткани. Отношение
Процесс электрополироваиия
Продолжительность операций 15—20 мин. На катодной поверхности вначале выделяется водород, но в электролите меди, начинается ее осаждение в виде порошка. Увеличением катодной поверхности можно виде пленки, которая легко снимается с поверхности катода.
загрузка заготовок иа конвейер, зачистка шлифовальными кругами, промывка водопроводной водой (под высоким давлением), визуальный контроль качества зачистки, соляной кислоты, промывка водопроводвой водой, сушка воздухом, разгрузка заготовок с конвейера.
На некоторых предприятиях
К числу механических способов зачистки относят также используемую для удаления с поверхности фольгированного диэлектрика окисных пленок, заусенцев, а также смолы, наволакиваемой в процессе сверления.
Гидроабразивная обработка весьма эффективно используется для удаления из отверстий многослойных травильных шламов, образующихся после операции травления диэлектрика В конвейерной установке типа «Бласт» смонтировано с каждой стороны, через которые подается образнвная водяная пульпа под давлением 0,55—0,7 МПа,
Установка позволяет обрабатывать заготовки плат размером 500X500 мм и минимальным — 80X80 мм. Форсунки совершают колебательные движения с до 1,67 качаний в секунду. Расход воздуха в установке — 13 м3/мин. Для опытного производства такая энергоемкая установка нерентабельна, поэтому выпускается устройство, в котором заготовка совершает водной суспенции абразивного материала зернистостью М40 в отношении 2:1. Количество циклов в минуту—120, мин.
По мере накопления в растворе солей меди этот раствор практически ничем не отличается от медно-хлоридного. Большой интерес представляют перекисные растворы на основе серной кислоты. В сернокислой среде
CuCI2-f-4NH4OH -* Cu(NH3)4C!-f-4H20.
Аммиачная комплексная соль двухвалентной меди является медь по реакции
Cu(NH3)4Cl2-f-Cu — 2Cu(NH3)2Ci.
Отработанный раствор, содержащий одновалентную медь, легко регенерируется посредством окисления
2Cu(NH3)2CI +,/20j-f-2NH4Cl + 2NH,OH -’2Cu(NH3)4Cl-f-3H20.
Раствор состоит из 65—110 г/л СиС12, 100—150 г/л NH4CI, 20—30 г/л
Регенерацию раствора можно осуществить в
С
Корректирование раствора газообразным аммиаком приводит к его повышенному расходу вследствие большой летучести аммиака. На ряде
Раствор вводится по сигналу датчика рН. Автоматически цикл регенерации предусмотрен в линии щелочного травления, 11.
Утилизация" меди из травильных растворов на основе хлорида осуществляется осаждением меди в виде действием при нагреве и барботировании смеси воздухом. При этом происходят следующие реакции: для
CuCl2 + 2NaOH– CuO + 2NaCi + Н20;
2CuCI+2NaOH + ‘/202 -► 2CuO + 2NaCi
для щелочных растворов
Cu(NH3)4C!2 + 2NaOH -* CuO + 2NaCI + Н20 +4NH3>
Cu(NH3)2CI+2NaOH + ‘/202 -►
Количество NaOH, необходимое для осаждения меди, берется по стехиометрическим соотношениям с %, чтобы создать его избыток и обеспечить полноту осаждеиня. Осадок окиси меди после
Недостатком медно-аммиачных травителей является
К
Хлорит натрия NaCI2 относится к категории сильных окислителей аммиачной среде по реакции
NaC102 + 2Cu + 4NH4C! + 4NH4OH -► 2Cu (NH3) +
+ 6H20.
CuCI2-f-Cu->2CuCI2.
Таким образом, в растворе травления содержатся следующие продукты: FeCI3, FeCb, СиСЬ, CuCI. Для травления 1300 кг/м3, что соответствует концентрации 400 г/л; температура раствора — до 35 °С. мкм, ёмкость по меди 1—75—105 г/л, максимальная скорость травления —35 мкм/мин.
1 Емкостью по предельно допустимое увеличение концентрации меди в растворе за счет вытравливания ее с плат.
Раствор н емкостью по меди, однако его применение в настоящее время ограничивается по следующим
При промывке плат после травления остатки травильного раствора легко гидролизуются с образованием труднорастворимых основных солей железа:
FcCi3 + Fe(OH)Cl2 + HCl.
Фенольные смолы диэлектрика частично обладают свойством ионообменных смол и адсорбируют ионы в производственных условиях на платах часто снижается сопротивление изоляции диэлектрика.
Отработанный раствор очень трудно
Раствор невозможно использовать в позитивном методе изготовления